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半导体晶圆热处理设备



详细介绍:

介绍无尘无氧化烤箱是研发部门为苏州晶方半导体有限公司的12寸晶圆生产工艺而研发的采用镜面不锈钢作为内胆经过一次成型处理以保证含氧量达到20ppm以下,隔热层为工业级保温棉无渗透无污染,保证烘烤300℃时 箱体体表温度在常温以下,控制系统用PLC+人机界面配合微电脑控制温控器带PID自动演算功能以保证箱体温度均匀性为±1℃

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